Efecto de las partículas energéticas sobre un sustrato sólido durante el depósito de películas delgadas
| dc.contributor.advisor | Guevara Vera, Manuel Enrique | |
| dc.contributor.author | Camacho Mamani, Wilson Eduardo | |
| dc.date.accessioned | 2024-04-20T16:14:33Z | |
| dc.date.available | 2024-04-20T16:14:33Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description.abstract | El estudio se enfoca en analizar el impacto de las partículas energéticas sobre un sustrato sólido durante el proceso de deposición de películas delgadas. La investigación aborda la interacción detallada entre partículas energéticas, como iones, electrones o átomos con alta energía, y el sustrato sólido, con el objetivo que permita describir la formación de las películas delgadas depositadas por plasma. En la metodología se utilizaron referencias bibliográficas relacionadas con la investigación y las soluciones de ecuaciones diferenciales para deducir las ecuaciones sobre el flujo de energía y procesos calorimétricos en el sustrato. Encontramos que el flujo de calor dirigido hacia el sustrato es función del flujo de calor desde el sustrato y la potencia transferida que eleva la temperatura del sustrato. Finalmente, la presión y la distancia entre los electrodos influye en la perdida de calor, siendo por convección menor que por conducción. | |
| dc.description.abstract | The study focuses on analyzing the impact of energetic particles on a solid substrate during the thin film deposition process. The research addresses the detailed interaction between energetic particles, such as ions, electrons or atoms with high energy, and the solid substrate, with the objective of describing the formation of thin films deposited by plasma. In the methodology, bibliographic references related to the research and the solutions of differential equations were used to derive the equations on the energy flow and calorimetric processes in the substrate. We found that the heat flux directed to the substrate is a function of the heat flux from the substrate and the transferred power that raises the substrate temperature. Finally, the pressure and the distance between the electrodes influence the heat loss, being by convection less than by conduction. | |
| dc.format | application/pdf | |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/20.500.14414/21173 | |
| dc.language.iso | es | |
| dc.publisher | Universidad Nacional de Trujillo | |
| dc.publisher.country | PE | |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
| dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | |
| dc.source | Universidad Nacional de Trujillo | |
| dc.source | Repositorio Institucional - UNITRU | |
| dc.subject | Sustrato sólido | |
| dc.subject.ocde | https://purl.org/pe-repo/ocde/ford#1.03.03 | |
| dc.title | Efecto de las partículas energéticas sobre un sustrato sólido durante el depósito de películas delgadas | |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/masterThesis | |
| dc.type.version | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | |
| renati.advisor.dni | 17853475 | |
| renati.advisor.orcid | https://orcid.org/0000-0002-4856-1435 | |
| renati.author.dni | 18028023 | |
| renati.discipline | 533017 | |
| renati.juror | Aguilar Marin, Pablo | |
| renati.juror | Aldama Reyna, Claver Wilder | |
| renati.juror | Guevara Vera, Manuel Enrique | |
| renati.level | http://purl.org/pe-repo/renati/level#maestro | |
| renati.type | http://purl.org/pe-repo/renati/type#tesis | |
| thesis.degree.discipline | Maestría en Ciencias Físicas | |
| thesis.degree.grantor | Universidad Nacional de Trujillo. Escuela de Posgrado | |
| thesis.degree.name | Maestro en Ciencias Físicas |